Strona główna

Wzory formularzy


Pobieranie 2.11 Mb.
Strona14/18
Data19.06.2016
Rozmiar2.11 Mb.
1   ...   10   11   12   13   14   15   16   17   18

* wstawić odpowiednią wartość TAK lub NIE.
..............................., ............... 2013 r. .......................................................................

miejscowość, data podpis i pieczątka Wykonawcy



Wzór nr 3ł

Znak postępowania: CEZAMAT/ZP01/2013

(pieczęć Wykonawcy)



CEZAMAT PW Sp. z o.o.

ul. Polna 50

00-644 Warszawa
OPIS URZĄDZEŃ APARATURY NAUKOWO – BADAWCZEJ

OFEROWANYCH PRZEZ WYKONAWCĘ

Budowa Laboratorium Centralnego wraz z dostawą elementów wyposażenia, a także dostawą, instalacją i uruchomieniem aparatury naukowo - badawczej w ramach prawa opcji.


Lp.

Nazwa urządzenia

Parametry wymagane

Potwierdzenie posiadania parametru

(TAK* / NIE*)

Oferowana wartość parametru


13.

Urządzenie do osadzania w plazmie metodą PECVD

13.1.

Główne zastosowania.







13.1.1.

Osadzanie warstw dielektrycznych, m.in.: dwutlenku krzemu (SiO2), azotku krzemu (Si3N4), tlenko-azotku krzemu (SiOxNy) oraz półprzewodnikowych (amorficznego krzemu – a-Si) na podłożach półprzewodnikowych o średnicy do 200mm.







13.2.

Przedmiot zamówienia wraz z wszystkimi opcjami i elementami wyposażenia dodatkowego, w jakie powinno być wyposażone urządzenie. Części składowe urządzenia/systemu (jeśli możliwe jest ich wyodrębnienie). Spis części i materiałów eksploatacyjnych, z którymi ma być dostarczone urządzenie.







13.2.1.

Komora procesowa







13.2.2.

Obudowa Urządzenia







13.2.3.

Elektroda dolna







13.2.4.

Elektroda górna







13.2.5.

Generacja plazmy RF







13.2.6.

System wytwarzania próżni w komorze reaktora







13.2.7.

System pomiaru próżni w komorze reaktora







13.2.8.

System dostarczania gazów roboczych (ang. gaspod/gasbox)







13.2.9.

Sterowanie Urządzenia







13.2.10.

Źródło zasilania







13.2.11.

Komplet części eksploatacyjnych obejmujący standardowy zestaw oferowany przez producenta.







13.2.12.

Komplet materiałów eksploatacyjnych niezbędnych do przeprowadzenia testów akceptacyjnych







13.3.

Układ w jakim urządzenie będzie funkcjonowało oraz sposób funkcjonowania z innymi urządzeniami.







13.3.1.

Musi zostać zapewniona możliwość dołączenia Urządzenia do systemu urządzeń (ang. „cluster tool”).







13.4.

Minimalne akceptowane parametry techniczne (zarówno samego urządzenia, jak i elementów wyposażenie dodatkowego), jakie powinnospełniać zamawiane urządzenie.







13.4.1.

Komora procesowa







13.4.1.1.

Wykonana w całości z jednego bloku aluminiowego







13.4.1.2.

Z połączeniem kołnierzowym o średnicy nie mniejszej niż 100 mm – pod warunkiem spełnienia parametrów związanych ze sprawnością odpompowywania.







13.4.1.3.

Flansza wejściowa o średnicy nie mniejszej niż 40 mm z oknem obserwacyjnym







13.4.1.4.

Flansza dla systemu detekcji końca procesu (do ew. późniejszej instalacji)







13.4.1.5.

Wewnątrz brak połączeń skręcanych i spawanych







13.4.2.

Obudowa Urządzenia







13.4.2.1.

Elementy kontrolne pracy Urządzenia zintegrowane w obudowie







13.4.2.2.

Zawiera w sobie pompy turbomolekularne i wszelkie zawory







13.4.2.3.

Powinna istnieć możliwość przedmuchu obudowy Urządzenia gazem neutralnym (np. azotem)







13.4.3.

Elektroda dolna







13.4.3.1.

Średnica elektrody dostosowana do przeprowadzania procesów technologicznych na podłożach o wymiarach do średnicy 200 mm, ale nie większa od 240 mm







13.4.3.2.

Możliwość zasilania ze źródła RF (13,56 MHz)







13.4.3.3.

Możliwość programowanego podgrzewania elektrody do min. 400°C z dokładnością ±10°C







13.4.3.4.

Chłodzenie wodą bądź innym czynnikiem chłodzącym







13.4.4.

Elektroda górna







13.4.4.1.

Aluminiowa elektroda zintegrowana z wlotem gazów roboczych do komory reaktora







13.4.4.2.

Budowa odpowiednia do jednorodnego rozprowadzania gazów roboczych







13.4.4.3.

Zasilana ze źródła RF (13,56 MHz) oraz chłodzona wodą bądź innym czynnikiem chłodzącym







13.4.4.4.

Ruchoma pneumatycznie/mechanicznie (w kierunku góra/dół/bok) w celu łatwego dostępu do podłoży







13.4.5.

Generacja plazmy RF







13.4.5.1.

Generator o częstotliwości 13,56 MHz o mocy nie mniejszej niż 300 W z układem automatycznego dopasowania impedancji







13.4.5.2.

Generator o częstotliwości od min. 50 do max. 450 kHz o mocy do 500 W w celu realizacji procesów z „mieszaniem” częstotliwości wyładowania jarzeniowego







13.4.5.3.

Możliwość kontroli mocy wychodzącej i/lub ujemnego potencjału autopolaryzacji







13.4.5.4.

Wstępne niezależne dopasowanie impedancji poprzez kondensatory dopasowujące dla każdego etapu procesu







13.4.6.

System wytwarzania próżni w komorze reaktora







13.4.6.1.

Układ dwóch pomp próżni wstępnej i właściwej







13.4.6.2.

Do wytworzenia próżni wstępnej musi być wykorzystana pompa bezolejowa







13.4.6.3.

Do wytworzenia próżni właściwej może być dodatkowo wykorzystana pompa rotacyjna wyposażona w filtr oleju i filtr wylotowy







13.4.6.4.

Łączna wydajność pomp nie mniejsza niż 250 m3/h







13.4.6.5.

Układ zapewniający próżnię do 1x10-6 mbar







13.4.6.6.

Czas uzyskania próżni w komorze roboczej od ciśnienia atmosferycznego do 1x10-6 mbar do 12 godzin







13.4.6.7.

Automatyczna kontrola próżni wstępnej oraz próżni podczas procesów osadzania.







13.4.7.

System pomiaru próżni w komorze reaktora







13.4.7.1.

Pomiar próżni do 2 Torr







13.4.7.2.

Rozdzielczość wskaźnika co najmniej 5 mTorr







13.4.7.3.

Kompensacja temperaturowa







13.4.8.

System dostarczania gazów roboczych







13.4.8.1.

Dozownik gazów (gaspod/gasbox) umożliwiający dystrybucję co najmniej 6 typów gazów roboczych







13.4.8.2.

Dozownik gazów (gaspod/gasbox) wyposażony w przepływomierze (MFC) wykalibrowane na następujące gazy: silan (SiH4), amoniak (NH3), podtlenek azotu (N2O), tlen (O2), czterofluorek węgla (CF4)







13.4.8.3.

Linie gazów szczególnie niebezpiecznych (silan, amoniak, czterofluorek węgla) wyposażone w systemy dodatkowego przedmuchu oraz tzw. ‘bypas’







13.4.8.4.

Linie gazowe doprowadzające gazy technologiczne do komory procesowej elektropolerowane, spawane orbitalnie







13.4.8.5.

Wszystkie zastosowane złączki typu VCR







13.4.8.6.

Każda linia gazowa wyposażona w filtr pyłów, elektropneumatyczny zawór odcinający, natomiast linie gazowe z ‘bypasem’ powinny być wyposażone w min. 3 zawory







13.4.9.

Sterowanie Urządzenia







13.4.9.1.

Sterowanie komputerowe z dedykowanym oprogramowaniem







13.4.9.2.

Oprogramowanie musi pozwalać na: logowanie danych procesowych dla każdego procesu oddzielnie (możliwość wyboru parametrów cyfrowych i analogowych, które mają podlegać logowaniu oraz interwału czasowego zbierania danych min. 150 ms), pokazywanie w czasie rzeczywistym zadanych i aktualnych parametrów procesów, sterowanie ręczne, jak również za pomocą wcześniej tworzonych przez użytkowników receptur procesów technologicznych o długości min. 25ms, automatyczną kontrolę nieszczelności oraz kalibracji kontrolerów MFC, a także powinno posiadać wielopoziomowy mechanizm nadawania praw dostępu i uprawnień dla użytkowników, także dla wybranych procesów







13.4.9.3.

Komputer sterujący z wyposażeniem zapewniający ergonomiczną, płynną i bezproblemową pracę Urządzenia przy korzystaniu z dedykowanego oprogramowania.







13.4.10.

Urządzenie i jego konfiguracja musi umożliwić doposażenie i rozbudowę Urządzenia o co najmniej:







13.4.10.1.

Sterowany komputerowo elipsometr spektroskopowy o zakresie pomiarowym 200-880 nm do kontroli wzrostu warstwy w trakcie osadzania (in-situ).







13.5.

Nietypowe parametry urządzenia i/lub jego wyposażenia istotne ze względu na sposób użytkowania, czy instalację. Wymagania co do wymiarów i wagi urządzenia.







13.5.1.

Urządzenie musi być kompatybilne z klasą czystości pomieszczenia „100”.







13.5.2.

Wymiary poszczególnych elementów Urządzenia muszą umożliwiać ich transport wewnątrz budynku do miejsca instalacji Urządzenia przez drzwi o wymiarach otworu: szerokość 150cm i wysokość 260cm, chyba że, Wykonawca uzyska pisemną akceptację Zamawiającego na niespełnienie tego warunku. W przypadku, gdy Wykonawca zaoferuje urządzenia o parametrach wymagających przy dostawie i instalacji zapewnienia szerokości otworu drzwi większej niż podana w dokumentacji projektowej, Zamawiający dopuszcza wyrażenie zgody na zmianę parametru szerokości drzwi. Zmiana wymagać będzie uzyskania pisemnej zgody projektanta na zmianę dokumentacji projektowej w tym zakresie. Wykonawca winien zwrócić się z odpowiednim wnioskiem do Zamawiającego w terminie umożliwiającym wprowadzenie odpowiednich zmian do dokumentacji projektowej, w tym gwarantującym wykonywanie robót budowlanych uwzględniających zmianę zgodnie Harmonogramem rzeczowo – finansowym.







13.5.3.

Wymiary Urządzenia w stanie gotowym do pracy muszą uwzględniać wysokość przestrzeni między sufitem podwieszanym i podniesioną podłogą, która wynosi 270cm.







13.5.4.

Wymiary zmontowanego Urządzenia wraz z jego strefą serwisową muszą mieścić się wewnątrz wyznaczonych linii ograniczających powierzchnię posadowienia Urządzenia zaznaczonych na planie rozmieszczenia urządzeń, chyba że Wykonawca uzyska pisemną akceptację Zamawiającego na niespełnienie tego warunku.







13.5.5.

Maksymalna waga Urządzenia musi uwzględniać przyjęte maksymalne obciążenie użytkowe wynoszące 5 kN/m 2.






1   ...   10   11   12   13   14   15   16   17   18


©snauka.pl 2016
wyślij wiadomość